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    前瞻技术:

    固态激光雷达

    1.基本原理

    分为:外部光源、OPA 光子相位阵列列、分路器、光波导、移相器、光发射天线阵列

    其测距原理均不使用FOT时间飞行法,采用相干法

    2.关键技术

    光路调相机制:PIN调相 ,切换速度快;热光子器件调相,切换速度慢,成熟

    硅基光子器件:硅基光敏器件(接收,成熟),硅基激光发射器件(发射,不成熟)

    光天线:普遍采用波导光栅

    光路制备工艺:普遍采用SOI工艺


    3.光路调相

    光路调相有两种技术:热光子环和PIN二级管,本质上都是增加光路时延。

    PIN 调相(CALTECH)

    热光子开关(MIT)

    4.器件

    光器件是基于SiGe工艺,接收管可以和SOI工艺兼容。激光管不行。器件看这篇:

    专栏作家斛律哥:摩尔定律的黄昏,自动驾驶的黎明:站在时代肩膀上的光电半导体zhuanlan.zhihu.com硅锗工艺制备的光敏二极管(UCSB),用于接收进行波导到光栅的转换利用衍射效应,通过光栅将光子发射出去

    硅基芯片上普遍使用的是Focusing gating coupler(聚焦光栅耦合器),发射天线

    5.工艺

    典型的光栅制作工艺:

    1.紫外光刻

    2.感应耦合等离子体蚀刻

    3.光栅体蚀刻深度70nm深

    4. 使用Si3N4制作光波导

    5.使用SiGe工艺制作光敏二极管,用于接收


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    2.18
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